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MEMS测试 - 压力传感器

2015-05-21 浏览: 3898

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为什么需要光学测量技术?
      MEMS系统需要通过一些部分的动作用于传感和驱动
      微镜,加速计,陀螺仪,膜式传感器,压力传感器等…
      电路测试可用于设备是否正常工作的测试
      不能确定设备的精确行为
      不能测量到器件在工作过程中的实际形态变化.
                                  光学测量可以!








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压力传感器的共振和工作振型

      最早的MEMS设备之一,各种类型,不同的应用

      一些和性能相关的参数,如膜厚度或内部应力无法通过电学方式测量

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                         f = 227 kHz                                                  f = 437 kHz                                                      f = 842 kHz



压力传感器: 参数识别

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