Micro.View 光学3D轮廓仪
MicroView系列3D轮廓仪是一款功能强大的表面轮廓测量仪器，以最前沿的CSI与Corelogram相结合的CST技术为核心，是最新一代光学3D轮廓仪。
MicroView轮廓仪拥有无与伦比的测量能力，能够满足从超光滑到粗糙表面、从极深色、超低反射率到全反射表面等几乎所有表面轮廓的测量，并且在所有倍率物镜下都能提供亚纳米级测量精度，此外，TMS软件还能够提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等标准的多种参数分析与评价，例如，粗糙度、平面度、台阶高度、微观几何轮廓、波纹度等。
优势特点：
亚纳米级分辨率
CST连续扫描技术
ECT环境补偿技术
卓越的横向分辨率
QC质量控制软件模块
手动/电动程控物镜塔台
自动寻焦器与焦面智能跟踪功能
基于RGB光源的颜色与3D数据融合技术
不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率
几乎满足所有表面的真3D轮廓数据高精度与可靠性，易于自动化集成
典型应用：
精密加工：粗糙度，微观结构，加工机理分析
光学元件制造：粗糙度，面型轮廓
半导体：晶圆磨抛，IC制造，微型器件
表面工程：摩擦学，涂层，缺陷，变形
3C电子：屏幕粗糙度，壳体表面质量
生物医疗：植入物粗糙度、轮廓
材料科学：材料结构、颜色
技术参数：
测量原理 | 相干扫描技术(CSI)/白光干涉 |
相机像素 | Micro.View: 1.3 MP |
Micro.View+: 1.9 MP | |
光学横向分辨率计算值δ | 最低400nm |
数字分辨率 | 0.01nm |
样品表面特性 | 满足几乎所有表面测量：粗糙、光滑、极深色、高透、高反射及复合表面 |
ISO标准 | 包括 ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287, ISO 13565, ISO 21920 |
物镜选项 | 0.6x 至111x 干涉物镜 |
(选配长工作距离物镜和光窗补偿功能) | |
最大测量角度 | 53°(镜面) |
86°(散射表面) | |
Z 轴定位范围 | 100mm |
Z 轴测量范围 | 100mm, 连续扫描技术，可执⾏全量程扫描 |
测量速度 | 100µm/s |
拼接能力 | 至多5亿数据点, 集成高级拼接配置选项 |
自动化测量 | 全自动数据采集、分析和输出报告 |
自动聚焦 | 标配软件算法聚焦功能 |
选配具有额外硬件支撑的寻焦器 | |
真色彩选项 | Micro.View+ 和 Micro.View+ Compact |
可选配基于RGB硬件的真色彩选项 |
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